Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications
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Beschreibung
Das "Handbook of Thin Film Deposition Processes and Techniques" von Klaus K. Schuegraf bietet eine umfassende Übersicht über die Prinzipien, Methoden, Ausrüstungen und Anwendungen der Dünnschichtabscheidung. Das Buch behandelt detailliert verschiedene Abscheidungstechniken wie physikalische und chemische Dampfphasenabscheidung, sowie fortschrittliche Verfahren zur Herstellung von Dünnfilmen. Es wird auf die physikalischen Grundlagen eingegangen, die für das Verständnis der Prozesse notwendig sind, und es werden spezifische Anwendungen in der Elektronik- und Halbleiterindustrie beleuchtet. Zudem bietet das Werk praktische Einblicke in die Auswahl geeigneter Materialien und Geräte für spezifische industrielle Anwendungen. Das Handbuch dient als wertvolle Ressource für Ingenieure, Wissenschaftler und Studierende im Bereich Materialwissenschaften und Oberflächentechnik.
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Über den Autor
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- 260 Seiten
- Erschienen 1991
- Springer
- Gebunden
- 328 Seiten
- Erschienen 2010
- Springer
- Kartoniert
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- Erschienen 2020
- De Gruyter Oldenbourg
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- Erschienen 2011
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- Erschienen 2011
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- Neue Medien -
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- Wiley-VCH
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- Erschienen 2013
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