Ramm, Peter

Handbook of Wafer Bonding

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9783527326464

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Produktdetails mehr
Einband: Gebunden
Seitenzahl: 395
Erschienen: 2012-01-11
Sprache: eng
EAN: 9783527326464
ISBN: 3527326464
Reihe:
Verlag: Wiley VCH Verlag GmbH
Gewicht: 937 g
Auflage:
The focus behind this book on wafer bonding is the fast paced changes in the research and... mehr
Produktinformationen "Handbook of Wafer Bonding"
The focus behind this book on wafer bonding is the fast paced changes in the research and development in three-dimensional (3D) integration, temporary bonding and micro-electro-mechanical systems (MEMS) with new functional layers. Written by authors and edited by a team from microsystems companies and industry-near research organizations, this handbook and reference presents dependable, first-hand information on bonding technologies. Part I sorts the wafer bonding technologies into four categories: Adhesive and Anodic Bonding; Direct Wafer Bonding; Metal Bonding; and Hybrid Metal/Dielectric Bonding. Part II summarizes the key wafer bonding applications developed recently, that is, 3D integration, MEMS, and temporary bonding, to give readers a taste of the significant applications of wafer bonding technologies. This book is aimed at materials scientists, semiconductor physicists, the semiconductor industry, IT engineers, electrical engineers, and libraries.
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